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高真空
真空ロッドレスシリンダ CYV
高真空機(jī)器 ? 真空ロッドレスシリンダ半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? スリットバルブ?搬送
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?真空環(huán)境內(nèi)（1.3×10-4Pa）での搬送に使用可能なエアシリンダ。
| シリーズ | 使用環(huán)境圧力｛Pa（ABS）｝ | チューブ內(nèi)徑（mm） |
|---|---|---|
| CYV | 大気～1.3×10-4 | 15，32 |
半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? スリットバルブ?搬送
