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產(chǎn)品目錄

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縫閥

對應(yīng)300mm晶片 平行密封型縫閥 XGTP

    ?長壽命:300萬次(常溫時(shí))
    ?發(fā)塵量:減少1/5以下(與以前產(chǎn)品相比)
    ?維護(hù)性提高
     容易更換波紋管
     可通過頂部拆裝門(訂制)
    ?安全對策
     采用機(jī)械式端鎖機(jī)構(gòu)
  • 對應(yīng)300mm晶片 平行密封型縫閥 XGTP
    說明書
    系列 查看搜索結(jié)果
    XGTP查看搜索結(jié)果
系列使用環(huán)境壓力(Pa)使用流體開口窗尺寸
(高×寬)(mm)
動作壓力
(MPa)
XGTP大氣壓~10-6惰性氣體50×3360.45~0.6

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