●卡門(mén)渦街式
在流體中放置棒狀物體（旋渦發(fā)生體）后，下流方向會(huì)交替地產(chǎn)生旋渦。產(chǎn)生的旋渦在一定條件下保持穩(wěn)定，其頻率與流速成正比，并符合下面的方程式。
f=k×v
f：旋渦的頻率、v：流速、k比例常數(shù)（由旋渦發(fā)生體的尺寸、形狀決定） 因此、根據(jù)檢測(cè)出的頻率來(lái)計(jì)算流量。
●氣體用
適用流體：空氣、氮?dú)狻鍤?、二氧化?br/> 空氣的質(zhì)量等級(jí)為JIS B8392.1-1. 1.2～1.6.2 , ISO8573.1-1. 1.2～1.6.2
●水用
適用流體：水
水50%+乙二醇50%
●脫離子水（純水）?化學(xué)液用
適用流體：脫離子水（純水）
超純水
不會(huì)腐蝕配管材料的流體
●熱式（MEMS式）
以高分子膜上的用白金薄膜制作的加熱器（Rh）為中心，對(duì)稱(chēng)設(shè)置的上流測(cè)溫傳感器（Ru）和下流測(cè)溫傳感器（Rd），以及用于測(cè)量氣體溫度用的環(huán)境溫度傳感器（Ra），共同構(gòu)成了MENS傳感器芯片。
原理如下圖所示，Ru和Rd的電阻值之差與流動(dòng)氣體的流速成正比，因此檢測(cè)其電阻值并進(jìn)行計(jì)算后，就可得知?dú)怏w的流向及流速。
Ra用于補(bǔ)償氣體溫度及環(huán)境溫度。
本流量開(kāi)關(guān)的流量單位采用L/min表示，質(zhì)量流量可以在0℃, 101.3kPa和20℃, 101.3kPa狀態(tài)之間進(jìn)行轉(zhuǎn)換。
氣體用
適用流體：空氣、氮?dú)?、氬氣、二氧化?br/> 空氣的質(zhì)量等級(jí)為JIS B8392.1-1. 1.2～1.6.2 , ISO8573.1-1. 1.2～1.6.2
●熱式（熱敏電阻式）
在流路中安裝加熱后的熱敏電阻，在流體流過(guò)后，流體會(huì)將熱敏電阻的熱量帶走。
熱敏電阻由于熱量被帶走，電阻值增加，其增加率和流體的流速具有特定的關(guān)系，因而檢測(cè)其電阻值就可得到流速。此外，為了補(bǔ)償流體溫度及環(huán)境溫度而內(nèi)置了溫度傳感器，因此可在工作溫度范圍內(nèi)進(jìn)行穩(wěn)定的測(cè)量。
本流量開(kāi)關(guān)的流量單位采用L/min表示，質(zhì)量流量可以在0℃, 101.3kPa和20℃, 101.3kPa狀態(tài)之間進(jìn)行轉(zhuǎn)換。
