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| 分類 | 名稱 | シリーズ | 型式 | |
|---|---|---|---|---|
| 方向制御機(jī)器/メカニカルバルブ/ハンドバルブ | 足踏み形5ポートメカニカルバルブ | XT34-60/XT-67 | XT34-60/XT-67 | 詳細(xì) |
| 真空用機(jī)器/真空パッド | 非接觸チャック | XT661 | XT661 | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | アルミ製 高真空L型バルブ 常時(shí)閉／ベローズシール | XL | XLA | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | アルミ製 高真空L型バルブ 複動(dòng)／ベローズシール | XL | XLC | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | アルミ製 高真空L型バルブ 常時(shí)閉／Oリングシール | XL | XLF | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | アルミ製 高真空L型バルブ 複動(dòng)／Oリングシール | XL | XLG | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | アルミ製 高真空L型バルブ 二段制御?単動(dòng)／ベローズシール?Oリングシール | XL | XLD | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | アルミ製 高真空L型バルブ 手動(dòng)／ベローズシール | XL | XLH | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス | XL | XLS | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | アルミ製 ワンタッチ著脫 高真空L型バルブ 常時(shí)閉／ベローズシール | XLAQ?XLDQ | XLAQ | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | アルミ製 ワンタッチ著脫 高真空L型バルブ 二段制御?単動(dòng)／ベローズシール?Oリングシール | XLAQ?XLDQ | XLDQ | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | ステンレス製 高真空L型バルブ 常時(shí)閉／ベローズシール | XM/XY | XMA | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | ステンレス製 高真空ストレート型バルブ 常時(shí)閉／ベローズシール | XM/XY | XYA | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | ステンレス製 高真空L型バルブ 複動(dòng)／ベローズシール | XM/XY | XMC | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | ステンレス製 高真空ストレート型バルブ 複動(dòng)／ベローズシール | XM/XY | XYC | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | ステンレス製 高真空L型バルブ 二段制御?単動(dòng)／ベローズシール?Oリングシール | XM/XY | XMD | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | ステンレス製 高真空ストレート型バルブ 二段制御?単動(dòng)／ベローズシール?Oリングシール | XM/XY | XYD | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | ステンレス製 高真空L型バルブ 手動(dòng)／ベローズシール | XM/XY | XMH | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | ステンレス製 高真空ストレート型バルブ 手動(dòng)／ベローズシール | XM/XY | XYH | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | 常時(shí)閉型高真空電磁弁 | XSA | XSA | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | スムーズベントバルブ（供給ライン） | XVD | XVD | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/高真空バルブ | 大気開(kāi)放弁付真空バルブ | XLJ | XLJ | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/スリットバルブ | 300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ | XGTP | XGTP | 詳細(xì) |
| 高真空機(jī)器/スリットバルブ | スリットバルブ | XGT | XGT | 詳細(xì) |
| 計(jì)裝用補(bǔ)助機(jī)器/リレー／バルブ | ブースタリレー | XT240 | XT240 | 詳細(xì) |
| 計(jì)裝用補(bǔ)助機(jī)器/アクチュエータ | エアショッカー | XT316 | XT316 | 詳細(xì) |
